Sistema de recubrimiento por pulverización por ultrasonidos de vórtice de alta temperatura de 60 kHz

Sistema de recubrimiento por pulverización por ultrasonidos de vórtice de alta temperatura de 60 kHz

Descripción:

Nuestro sistema de recubrimiento por pulverización por ultrasonidos de vórtice de alta temperatura de 60 kHz integra una boquilla de atomización por ultrasonidos de vórtice de 60 kHz con estructura de enfriamiento incorporada.El transductor piezoeléctrico genera vibraciones de alta frecuencia para convertir los precursores líquidos en micro gotas finas.El gas de formación de vórtices de baja velocidad forma un campo de rociado cónico estable sin un fuerte impacto en los sustratos.

El conjunto de enfriamiento de la boquilla aísla el calor de la etapa de calentamiento de alta temperatura, que puede alcanzar hasta 500 ~ 600 °C.Este diseño permite el secado in situ y la descomposición térmica de las soluciones precursoras directamente en la superficie del sustrato.

En comparación con las boquillas de pulverización ultrasónicas enfocadas convencionales, el tipo vórtice ofrece un ancho de pulverización efectivo más amplio y una uniformidad de recubrimiento superior.La niebla suave reduce en gran medida el exceso de rocío y mejora la utilización del material por encima del 90%El rendimiento de autolimpieza por ultrasonidos minimiza el obstrucción de las boquillas para suspensiones, solos y soluciones de sal.

Equipado con un módulo de alimentación de líquido de precisión, una unidad de control de gas independiente y una plataforma de movimiento servo XYZ, el sistema admite rutas de recubrimiento programables.Puede depositar películas delgadas de decenas de nanómetros a micrómetros.

Las aplicaciones típicas incluyen capas de catalizadores de celdas de combustible y recubrimiento PEM, celdas solares de perovskita, TCO y películas de óxido de metal, MEMS y recubrimientos funcionales de obleas, fabricación de nano películas de sensores.

Parámetros:

Ventajas:

1• Cobertura uniforme con rociado de vórtice, ancho de rociado efectivo más amplio en un solo paso
2Diseño compatible a altas temperaturas. Boquilla con estructura de enfriamiento para soportar el proceso de descomposición térmica del sustrato
3Alta utilización de los materiales superior al 90%, ahorrando soluciones de precursores costosas
4- Autolimpieza por ultrasonido, bajo riesgo de obstrucción de la boquilla, compatible con suspensiones, solos y precursores de sal
5. Niebla suave con bajo impacto, sin daños a los sustratos porosos o películas delgadas preformadas
6Control preciso del espesor de la película Deposición de múltiples capas para producir películas delgadas de escala nanométrica a micrométrica
7Gas de formación de vórtices de baja presión, rebote mínimo de gotas y poca sobre rociado

Sistema de recubrimiento por pulverización por ultrasonidos de vórtice de alta temperatura de 60 kHz