Equipo Co., Ltd. de la automatización de Hangzhou Qianrong
céntrese en el uso ultrasónico, de buena fe para ganar a clientes
| Lugar de origen: | China. |
|---|---|
| Nombre de la marca: | FUNSONIC |
| Certificación: | CE |
| Número de modelo: | Las condiciones de los productos |
| Cantidad de orden mínima: | 1 Unidad |
| Precio: | Negotation |
| Detalles de empaquetado: | embalado por el caso de madera |
| Condiciones de pago: | T/T, Western Union |
| Capacidad de la fuente: | Unidad 1000 por mes |
| Nombre de la producción: | Máquina de pulverización de precisión por ultrasonidos | Frecuencia: | 60 kHz |
|---|---|---|---|
| Potencia máxima: | 1 a 15 W | Volumen máximo de pulverización continua: | 20-1200 ml/h/pcs, Escalable |
| Ancho de pulverización efectivo: | 2-260 mm/pcs, escalable | Uniformidad de los aerosoles: | ≥95% |
| Viscosidad de la solución: | ≤ 30 cps | Válvula de entrada: | Las emisiones de gases de efecto invernadero de la Unión son las siguientes: |
| Resaltar: | Sistema de recubrimiento por litografía ultrasónica,Sistema de recubrimiento de litografía por ultrasonido fotorresistente,sistema de recubrimiento de litografía por ultrasonidos de semiconductores |
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Sistema de recubrimiento de litografía por ultrasonidos fotoresistentes de semiconductores
Descripción:
La fumigación ultrasónica es un proceso simple, económico y reproducible para el recubrimiento fotoresistente en el procesamiento de obleas de fotolitografía.El sistema de recubrimiento de litografía ultrasónica fotorresistente de semiconductores de FUNSONIC utiliza tecnología avanzada de capas para controlar con precisión el caudalEl moldeado por pulverización a baja velocidad define el pulverización atomizada como un patrón preciso y controlable para evitar el exceso de pulverización y producir capas muy finas y uniformes.
El sistema de recubrimiento de litografía ultrasónica fotoresistente de semiconductores de FUNSONIC tiene ventajas en el depósito de recubrimientos más uniformes.especialmente a lo largo de la parte superior de las paredes laterales de ranuras de alta relación de aspecto y estructuras de ranuras en forma de VLa rotación centrífuga no puede depositar revestimientos uniformes a lo largo de las paredes laterales, sin acumular demasiada fotoresistencia en el fondo de la cavidad.
Parámetros:
| Tipo de producto |
Máquina de recubrimiento por rociado de precisión ultrasónica Tipo de escritorio de laboratorio Las condiciones de funcionamiento |
Máquina de recubrimiento de precisión por ultrasonidos inteligente Tipo de escritorio Las demás: |
| Frecuencia de funcionamiento de la boquilla de rociado | 20 a 200 kHz | 20-200KHz (Normalmente se utiliza 60100110120K) |
| Potencia de la boquilla | 1 a 15 W | 1 a 15 W |
| Volumen máximo de pulverización continua | 00,01 a 50 ml/min | 00,01 a 50 ml/min |
| Ancho de pulverización efectivo | 2 a 100 mm | 2 a 100 mm |
| Uniformidad de los aerosoles | ≥95% | ≥95% |
| Tasa de conversión de la solución | ≥95% | ≥95% |
| espesor de la película seca | 20 nm-100 μm | 20 nm-100 μm |
| Viscosidad de la solución | ≤ 30 cps | ≤ 30 cps |
| Rango de temperatura | 1-60°C | 1-60°C |
| Las partículas atomizadas (valor medio) | 10-45μm (agua destilada), determinada por la frecuencia de la boquilla | 10-45μm (agua destilada), determinada por la frecuencia de la boquilla |
| Presión de desvío máxima | No más de 0,10 MPA | ≤ 0,15 MPA |
| Válvula de entrada | Las emisiones de gases de efecto invernadero de los gases de efecto invernadero de los gases de efecto invernadero | Las emisiones de gases de efecto invernadero de los gases de efecto invernadero de los gases de efecto invernadero |
| Modo de ejercicio | X + Y dos ejes totalmente automático, ajuste manual del eje Z | XYZ de tres ejes, programable de forma independiente |
| Modo de control | Tarjeta de microordenador, pantalla táctil de 7 pulgadas + botones | Sistema de control de pulverización FUNSONIC, control PLC, pantalla táctil a todo color de 13,3 pulgadas |
| Contenido del control | Pulverización ultrasónica, suministro de líquidos, calefacción, dispersión ultrasónica y otros sistemas | Pulverización ultrasónica, suministro de líquidos, calefacción, dispersión ultrasónica y otros sistemas |
| Método de suministro de líquido | Bomba de inyección de precisión | Bomba de inyección de precisión |
| Sistema de dispersión ultrasónica (opcional) | 50 ml, 40K, muestreo de grado biológico | 20 ml o 50 ml, 40K, muestreo de grado biológico |
| Potencia nominal del sistema de dispersión ultrasónica | 200 W, 10 A | 100 W |
Ventajas:
1. Cobertura uniforme de la película de los diversos contornos de la superficie.
2. Capaz de revestir ranuras de alta relación de aspecto con una excelente uniformidad.
3Espray de atomización no obstruyente.
4Capaz de depositar capas muy uniformes de una sola micra.
5Proceso de pulverización de madurez repetible.
Sistema de recubrimiento de litografía por ultrasonidos fotoresistentes de semiconductores